SLO | ENG | Piškotki in zasebnost

Večja pisava | Manjša pisava

Izpis gradiva

Naslov:Tehnologija fokusiranega ionskega curka (FIB)
Avtorji:Zupanič, Franc (Avtor)
Datoteke:URL http://www.dlib.si/details/URN:NBN:SI:doc-346GX77M
 
Jezik:Slovenski jezik
Vrsta gradiva:Delo ni kategorizirano (r6)
Tipologija:1.04 - Strokovni članek
Organizacija:FS - Fakulteta za strojništvo
Opis:Fokusirani ionski curek (FIB) ima premer od 5 nm do nekaj mikrometrov. Ko ga uporabljamo kot mikroskop, je njegova ločljivost nekoliko slabša, kot je ločljivost vrstičnega elek- tronskega mikroskopa, vendar ima bistveno boljši orientacijski kontrast. Z njim lahko odvzemamo ali nanašamo material na izbranih mestih z natančnostjo vsaj 100 nm. Ta značilnost omogoča, da se uporablja v najrazličnejše namene, od popravila elektronskih vezij, preko 3D-mikroskopije, do izdelave najrazličnejših 3D-objektov v nano- in mikrometrskem področju. Kombinacija fokusiranega ionskega curka in vrstičnega elektronskega mikroskopa bistveno izboljša zmogljivosti obeh.
Ključne besede:fokusirani ionski curek, mikroskop, odvzemanje materiala, nanašanje materiala
Leto izida:2006
Založnik:Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
Št. strani:str. 4-9
Številčenje:Letn. 26, št. 4
UDK:531/533
COBISS_ID:11145750 Povezava se odpre v novem oknu
ISSN pri članku:0351-9716
Število ogledov:327
Število prenosov:18
Metapodatki:XML RDF-CHPDL DC-XML DC-RDF
Področja:Ostalo
:
  
Skupna ocena:(0 glasov)
Vaša ocena:Ocenjevanje je dovoljeno samo prijavljenim uporabnikom.
Objavi na:AddThis
AddThis uporablja piškotke, za katere potrebujemo vaše privoljenje.
Uredi privoljenje...

Postavite miškin kazalec na naslov za izpis povzetka. Klik na naslov izpiše podrobnosti ali sproži prenos.

Gradivo je del revije

Naslov:Vakuumist
Skrajšan naslov:Vakuumist
Založnik:Društvo za vakuumsko tehniko Slovenije
ISSN:0351-9716
COBISS.SI-ID:16059650 Novo okno

Sekundarni jezik

Jezik:Angleški jezik
Naslov:Technology of focussed ion beam (FIB)
Opis:Focussed ion beam has a diameter between 5 nm and a few micrometers. Its resolution is slightly worse than that of a scanning electron microscope; however, it possesses much better orientation contrast. It allows site-specific sputtering and deposition of materials with precision of at least 100 nm. This ability allows FIB application in different fields: repairing of electronic circuits, 3D-microscopy, 3D-fabrication of objects in nano- and micro regions. The combination of a scanning electron microscopeand a FIB provides enhanced capabilities of both.


Komentarji

Dodaj komentar

Za komentiranje se morate prijaviti.

Komentarji (0)
0 - 0 / 0
 
Ni komentarjev!

Nazaj
Logotipi partnerjev Univerza v Mariboru Univerza v Ljubljani Univerza na Primorskem Univerza v Novi Gorici