Abstract: V članku je opisan postopek naparjevanja tankih plasti po metodi curka ioniziranih skupkov, ki rabi za nizkotemperaturno nanašanje in epitakso visokokvalitetnih tankih plasti.Keywords: vakuumska tehnika, CIS, curek ioniziranih skupkov, tanke plastiPublished in DKUM: 10.07.2015; Views: 2085; Downloads: 37 Link to full text
Abstract: V drugem delu prispevka opisujemo transportne lastnosti stika kovine in polprevodnika. V začetku je podan pregledni opis različnih mehanizmov prenosa naboja v idealni Schottkyjevi diodi. V nadaljevanju je opisan transport naboja v neidealnem stiku z vmesno kontrolno plastjo, ki nastane pri nanašanju z metodo CIS. Dodatni transport naboja v takšnih Schottkyjevih heterostrukturah lahko povzroči kontinuum elektronskih stanj, ki se pojavi na meji med urejenim in neurejenim delom polprevodnika. Opisan je vpliv takšnega transporta naboja na tokovno karakteristiko diode.Keywords: vakuumska tehnika, površine, kovine, polprevodniki, tanke plasti, curek ioniziranih skupkovPublished in DKUM: 10.07.2015; Views: 1859; Downloads: 41 Link to full text
