2.
MINIATURNI TLAČNI IN TEMPERATURNO-TLAČNI OPTIČNI VLAKENSKI SENZORJISimon Pevec, 2012, master's thesis
Abstract: V magistrski nalogi je prikazana tehnologija izdelave miniaturnega vlakenskega tlačnega senzorja, ki je zaradi preprostih in malo številčnih procesnih korakov primerna za ceneno serijsko proizvodnjo. Tehnologija temelji na uporabi posebnega senzorskega vlakna, selektivnem jedkanju in mehansko-kemični obdelavi vrha optičnega vlakna. Celoten proizvodni proces je ob minimalnih nastavitvah in prilagoditvah parametrov izdelave primeren za izdelavo poljubno občutljivih tlačnih senzorjev.
V sklopu naloge sta poleg tlačnega senzorja predstavljena še dva tipa miniaturnih kombiniranih tlačno-temperaturnih vlakenskih senzorjev, ki imata visoko tlačno občutljivost in široko temperaturno področje. V obeh primerih senzor predstavlja interferometer, ki je zgrajen iz dveh zaporednih Fabry-Perot resonatorjev. V prvem primeru je senzor izdelan na vrhu dovodnega enorodovnega vlakna. Zanj je narejen matematični model za izračun odbitega svetlobnega toka, ki potuje skozi dve oz. tri polprepustna zrcala. V drugem primeru je senzor izdelan na vrhu mnogorodovnega vlakna, ki senzorju omogoča cenovno ugodnejše signalno procesiranje in večjo robustnost.
Keywords: miniaturni vlakenski optični Fabry-Perot senzor, interferometer, dvo-parametrični senzorji, simultano merjenje tlaka in temperature, mikro-obdelava, polirna naprava, selektivno jedkanje, posebna optična vlakna
Published in DKUM: 21.11.2012; Views: 2744; Downloads: 322
Full text (13,30 MB)
